東京エレ･デバイス、光コムと三次元形状測定器開発

サービス・商品東京エレクトロンデバイス（横浜市神奈川区）は1日、光コム（東京都千代田区）と三次元形状測定器の共同開発に合意した、と発表した。

精密加工部品などの形状を測定できるようにするため、「光コム方式」と呼ばれる技術を活かした三次元形状測定器の共同開発に取り組み、「従来の測定器とは異なる画期的な測定原理を搭載した三次元形状測定器」を2016年春にも市場投入する。

これにより、自動車、航空部品などの精密加工部品、大型プレス加工などの金属部品分野の開発を支援するとともに、製造現場で検査効率の向上につなげる。

光コム方式は、従来のレーザーやマルチモードの光源を使用する方式と異なり、少しずつ周波数（波長）の異なる光の波が一定の位相関係で同時に存在している「光のくし」を使用しており、「非常に精確な光のものさし」として知られる技術。

▲光コム方式のイメージ