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日本製鋼所、ECRプラズマ成膜装置製造子会社が米社と提携

2016年1月28日 (木)

荷主日本製鋼所は28日、子会社のJSWアフティ(東京都八王子市)が、北米を対象とした販売代理店として米テメスカルディビジョン・オブ・フェローテック社(カリフォルニア州リバーモア市)と契約したと発表した。

テメスカルは、アフティの代理店として電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ成膜装置、原子層堆積(ALD)装置などの販売、立上げ、アフターサービスを展開する。

一方、国内ではアフティが従来からの取扱製品に加え、各国で1500台以上の納入実績を持つテメスカルの電子ビーム蒸着システムの販売、立上げ、アフターサービスを展開していく。