昭和電工、高品質SiCエピウェハーの量産を開始

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荷主昭和電工は9日、パワー半導体の材料となる炭化ケイ素「エピタキシャルウェハー」（エピウェハー）の高品質グレード「ハイグレードエピ」を月間3000枚生産できる体制を整え、量産を開始したと発表した。

ハイグレードエピは、昨年10月に同社が開発した結晶欠陥を大幅に削減したSiCエピウェハーで、国内外の装置メーカー向けに積極的なサンプル出荷を推し進めた結果、良好な評価を得ているという。

SiCパワー半導体は車載用途で早期実用化が検討されており、SiCエピウェハーの市場規模は2025年に1000億円規模に拡大するとみられている。