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サービス・商品FIG（大分県大分市）は13日、グループ会社のREALIZEが、半導体メーカーを中心とした製造現場の自動化ニーズに対応するモバイルマニピュレータ「WILL-MoMa」を開発したと発表した。自社開発の自律走行搬送ロボット（AMR）「WILL-FA」とロボットアームを組み合わせ、独自の制御技術を搭載した。
▲モバイルマニピュレータ「WILL-MoMa」（出所：FIG）
開発の背景には、半導体製造現場での生産性向上や人手不足への対応に加え、工場内搬送の自動化やクリーンルーム対応への需要の高まりがある。REALIZEは、大手半導体メーカーから寄せられた自動化やクリーンルーム対応などの要望を踏まえて開発した。
WILL-MoMaは、半導体製造装置間の搬送を自動化し、作業者の負担軽減やクリーンルームの清浄度維持、夜間など無人時間帯の装置稼働効率化を図る。搬送物に応じたカスタムハンドの製作にも対応する。
自社製ロボット管理システム「JOS（Job Ordering System）」と連携し、動作指示や稼働状況の監視、スケジューリングを一元管理できる。複数台のロボットを統合管理し、効率的な運用につなげる。
走行には、自己位置推定と環境地図作成を同時に行うSLAM技術を採用。カメラやLiDARなどのセンサー情報と画像処理技術を組み合わせて周囲を認識し、自律走行するほか、ネットワークやクラウドを通じて他の機器や施設内設備との連携にも対応する。
充電は従来の接触方式に加えてワイヤレス方式に対応する。接触による粉塵発生を抑えられるためクリーンルームでの利用に適しており、急速充電にも対応。装置に給電部を設置することで、ワークの受け渡しと並行して充電し、24時間稼働も可能としている。
FIGグループは、中期経営計画でロボットを中核とするオートメーション領域の事業拡大を掲げている。今後もソフトウェア、ハードウェア、IoTを組み合わせ、搬送ロボットの高度化と自動化ソリューションの拡充を進める。
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