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拠点・施設フェローテックは30日、熊本県大津町に建設していた半導体製造装置部品の精密再生洗浄工場「熊本工場」が29日に完成したと発表した。完成式には地元自治体や顧客企業、協力企業などが出席した。
▲精密再生洗浄工場「熊本工場」外観（出所：フェローテック）
新工場はフェローテックテクノロジーデベロップメントジャパンが運営する。敷地面積は3万平方メートル、建屋面積は1万3000平方メートルで、PVD・CVD・エッチング装置部品の再生洗浄設備やプラズマ溶射機、アーク溶射機、超音波顕微鏡、三次元測定機などを備える。
同社が展開する精密部品再生洗浄サービスは、半導体製造装置の部品に付着した汚れの除去や修理・再生を行うもの。微細化が進む半導体製造工程に対応し、一桁ナノメートル単位の高精度処理を実現する。
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