日研トータルソーシング、搬送演習装置の特許を取得

荷主総合人材サービスを提供する日研トータルソーシング（東京都大田区）は24日、半導体製造工程におけるウエハの搬送手順における研修体制や、実際の現場業務の効率化を図るため、同社独自の半導体搬送演習装置を開発し、ことし2月22日付で特許を取得したと発表した。

（出所；：日研トータルソーシング）

集積回路、太陽電池、LEDなどの材料であるウエハの搬送は、製造工程において自動化されている。各工程で使用する装置や、物理的・化学的反応を起こす装置であるチャンバ等にてウエハを載置する場合、半導体製造の本稼働の前に製造工程設備毎にウエハ搬送の動作を事前に調整するティーチング作業が必要だ。

同作業は製造工程設備毎に異なるため、従来では研修で実施する際には複数台の機材が必要だったが、同社が特許を取得した装置では、調整作業の訓練を1台で実施できる。

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LOGISTICS TODAY編集部
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