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拠点・施設リンテックは9月29日、埼玉県伊奈町の伊奈テクノロジーセンターに新棟「開発棟」を建設し、10月から稼働を開始すると発表した。総工費は25億円。半導体関連装置を中心に、新装置の開発力向上と生産能力の増強を図る。
同センターでは、半導体ウエハーの裏面研削や切断工程で使う特殊粘着テープの貼付・剥離装置、ラベリングマシンなどを開発・製造している。半導体関連装置は需要拡大を受け、生産能力が上限に近い状況が続いているほか、短納期での受注対応も求められている。
▲伊奈テクノロジーセンター「開発棟」の外観（出所：リンテック）
新棟は地上4階建てで、延床面積は3600平方メートル。既存棟で担っていた設計や評価・検証機能を新棟へ移管し、開発エリアを床面積比で1.5倍に拡張する。これに伴い、既存棟の空いたスペースを製造エリアに転用し、装置の組み立て、調整、検査などを行う製造エリアは1.6倍に拡大する。
新棟は9月14日に完成。1、2階を評価・検証などの開発エリア、3階を設計エリア、4階を設計エリアと会議室などに充てる。需要変動に対応しながら、半導体関連装置の供給力強化を進める。
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