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拠点・施設バルカー（東京都品川区）は6日、同社100%子会社であるバルカーミカワフロンテック（WF、愛知県新城市）が、愛知県田原市に建設を進めていたフッ素樹脂ライニングタンクの一貫生産工場「田原工場」の稼働を開始したと発表した。
▲一貫生産工場「田原工場（出所：バルカー）
フッ素樹脂ライニングタンクは、半導体製造に不可欠な高純度薬液の貯蔵・搬送に用いられる設備であり、極めて高いクリーン性と耐薬品性が求められる。
田原工場は最新設備と独自技術を融合し、高品質と生産効率の両立を実現した施設で同種設備としては国内最大級の規模となる。バルカーはこれにより「世界一クリーンなタンク」の供給体制を目指し、グローバルな半導体サプライチェーンの強化を図る。
フッ素樹脂ライニングタンクは、半導体製造に用いられるレジストやスラリー、洗浄液といった高純度薬液の貯蔵・搬送に使用される設備だ。高機能な薬液に長時間接することから、タンクには極めて高い清浄性と耐薬品性が要求され、製造できるメーカーは世界でも限られる。
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