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拠点・施設昭和電工は4日、電子材料製造用特殊ガスのひとつ、高純度三塩化ホウ素（BCl3）の生産能力を1.5倍に引き上げる、と発表した。
高純度BCl3は、液晶パネルやシリコン半導体の製造工程で、アルミ配線の微細加工（エッチング）に使用される特殊ガスで、アルミ配線を使用する有機ELパネルや低温ポリシリコン液晶パネルへの投資が相次いでいる。
同社は今後も安定的な需要が見込めると判断し、川崎事業所の製造設備の増強を決定、3月から稼働を開始する。
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