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荷主TOTOは10月30日、福岡県豊前市のTOTOファインセラミックス豊前工場に、先端半導体向けセラミック部材の次世代品を量産する新たな生産施設を建設すると発表した。投資額は600億円。2029年度上期の生産開始を予定する。AI半導体やデータセンター関連を含む先端半導体需要の拡大を見据え、生産能力を増強する。
新設する生産棟は3階建ての鉄骨造で、建築面積1.2万平方メートル、延べ床面積3.6万平方メートル。TOTOのセラミック事業では最大規模の生産施設となる。半導体製造装置に使う静電チャックとAD部材の次世代品を量産する。
▲豊前工場で新設する生産施設の立地イメージ（出所：TOYO）
静電チャックは、半導体製造装置内でシリコンウエハーを固定する部材で、エッチング工程で使用される。メモリー半導体の多層化に伴い、製造装置内では高出力のプラズマが使われるようになっており、部材には高い耐久性が求められている。
AD部材は、セラミック微粒子を高速で基材に衝突させて膜を形成するエアロゾルデポジション法を使った部材。半導体製造装置内部の耐プラズマ性を高め、パーティクル発生を抑える用途で使われる。
AD部材については、豊前工場とは別に、大分県中津市のTOTOサニテクノ本社・中津工場とTOTOファインセラミックス本社・中津工場でも次世代品向け設備を導入する。投資額は110億円で、28年度内の生産開始を予定する。
同社は26年4月にセラミック事業の成長投資として300億円規模を計画していたが、焼成棟や研究開発棟を含む各計画が具体化したことで330億円に拡大した。豊前工場への600億円投資はこれとは別枠で、先端半導体向け部材の中長期的な需要増に備える生産体制の強化となる。
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