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▲ターボ分子ポンプ（出所：島津製作所）
荷主島津製作所（京都市中京区）は9日、三条工場で半導体製造装置向けターボ分子ポンプ（TMP）のめっき加工ラインを増設したと発表した。生成AIの普及や半導体市場の拡大による需要増に対応するため、9月に新ラインを稼働。2027年夏には追加増設し、生産体制をさらに強化する。
TMPは、ポンプ内部の金属製ブレードを毎分数万回の高速で回転させ、気体分子を弾き飛ばして高真空状態をつくる真空ポンプ。半導体製造装置のほか、太陽光発電パネルや建材ガラスのコーティング装置などに使われる。半導体の微細化や高性能化が進むなか、需要が高まっている。
TMPの製造では、金属材料を切削して部品を成形した後、主要部品の表面に腐食を防ぐためのめっき加工を施す。今回、三条工場に新たな加工ラインを設けたほか、協力会社と連携した加工体制の構築も進めている。
9月のライン増設により、めっき工程の処理能力は従来比2倍となった。27年夏に予定する追加増設後には2.5倍まで高める計画で、社内外で生産体制を段階的に強化し、安定したTMPの製造とサービス提供につなげる。
島津製作所は今後も、半導体製造装置向けを中心にTMPの生産・サービス体制を強化し、半導体市場で真空技術と計測技術を軸としたソリューションを提供する。
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