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荷主島津製作所は9日、中国の生産子会社である天津島津液圧（中国）で、半導体業界向けターボ分子ポンプ（TMP）の生産を開始したと発表した。中国市場向け供給能力の強化を目的に、既存工場内に新たな組み立てラインを設けた。
TMPは高速回転する金属製ブレードによって気体分子を排出し、真空状態を作り出す装置で、半導体製造装置やコーティング装置に搭載される。近年、中国では半導体産業の育成政策を背景に関連設備の需要拡大が続いており、現地生産への要請が高まっていた。
新ラインは既設工場の遊休スペースを活用し、クリーンルームや検査設備を整備した。設備投資額は約3億円。当面は年間2000台の生産を計画している。中国国内での生産体制を構築することで、サプライチェーンの最適化や物流コストの削減、顧客への安定供給につなげる。
▲新生産ラインの様子（出所：島津製作所）
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