長瀬産業、半導体関連事業の新工場を開設

拠点・施設長瀬産業は19日、半導体製造に使用される高純度現像液の回収・再生を行う新工場「SN Tech東大阪第二工場」を東大阪市に開設したと発表した。運営はナガセケムテックス（大阪市西区）、セイチェム（アメリカ）との合弁会社であるSNテック・コーポレーションが担い、2025年度中の量産開始を予定している。使用済みのテトラメチルアンモニウムヒドロキシド（TMAH）の回収・再生を行い、国内での再利用を実現する。

半導体の製造工程では、フォトリソグラフィ工程で高純度なTMAHが不可欠となるが、再生には高度な電解・精製技術が求められるため、これまで再利用は困難とされてきた。SNテック・コーポレーションは08年から液晶パネル製造で使用されるTMAHの回収・再生事業に取り組んでおり、その技術を活用して半導体業界で環境負荷軽減とコスト削減を図る。

今回の新工場設立は、同社の中期経営計画「ACE 2.0」の半導体分野の製造機能強化の一環であり、持続可能な事業モデルの構築を目指す。新工場にはTMAHの製造・高純度化を行う電解設備、精製設備が導入され、半導体工場から回収したTMAHを再生可能となる。

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LOGISTICS TODAY編集部
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