SATAS、シャープ亀山工場に後工程拠点着工

産業・一般半導体後工程自動化・標準化技術研究組合（SATAS)は19日、NEDOのポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業における先端半導体製造技術開発・半導体後工程自動化・標準化の開発・実証研究でパイロットライン構築サイトをシャープ亀山工場（三重県亀山市）に決定し、同工場内の一部建屋の環境整備に着工すると発表した。

本研究開発では、後工程の完全自動化に必要な製造装置間の物理的・論理的な業界標準インタフェース仕様を作成し、その仕様に従った製造装置の開発と実装、単体試験を実施する。各製造装置を統合したパイロットラインで結合試験および動作検証を行い、パイロットライン全体のエネルギー生産性改善に資する研究を進める。

パイロットラインサイトが正式決定したことで、SATASは業界標準インタフェースや仕様に基づく製造装置の開発と実装を一層加速する。社会実装に向けた取り組みを本格化し、同サイトを後工程自動化研究開発をリードするイノベーション拠点として発展させることで、先進国の後工程自動化市場創出と日本の半導体関連産業の競争力強化に寄与する。

▲シャープ亀山工場（出所：SATAS）

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LOGISTICS TODAY編集部
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