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（出所：東京エレクトロン）
拠点・施設東京エレクトロン（東京都港区）は15日、開発・製造子会社の東京エレクトロン九州（熊本県合志市）で建設を進めていた新開発棟「プロセス開発棟」が完成し、同日に完成式を行ったと発表した。
同棟は、半導体の微細化・高集積化が進むなかでの次世代装置開発を目的としており、安全・品質・環境を重視した設計を採用。デジタル技術を活用し、開発効率の向上と高品質な製品提供を目指す。
建物は鉄骨造・全免震構造で、地上3階（一部4階）、延床面積は2万7000平方メートル。2023年10月に着工し、建設費用は470億円となる。
東京エレクトロン九州は、コータ/デベロッパー、洗浄装置、ウエハーボンダーなど3次元実装向け装置の開発・製造を担っており、デジタル社会の進展に伴う半導体需要拡大に対応する。
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