
▲東友ファインケム 益山研究所(出所:住友化学)
荷主住友化学は13日、同社100%子会社である韓国の東友ファインケムの益山研究所(韓国・益山市)において、半導体用ケミカルの品質向上と最先端製品の開発加速を目的として、先端素材用クリーンルームの新設およびプロセス検証ラインの拡充に向けた体制整備投資を行うと発表した。同設備は26年度以降に順次稼働を開始する予定。
東友ファインケムは同社グループのICT(情報通信技術)関連事業における中核子会社として、東アジアや米国を中心に積極的な事業展開を行っている。設備においては既存工場における能力増強や新工場用地の確保に加え次世代半導体新規材料の発掘を担う新研究開発センター(ソウル近郊・板橋テクノバレー)を24年10月から稼働。今回の体制整備で先端半導体の超微細化に対応する超高純度ケミカルや先端プロセス・後工程材料の新たなニーズに対応する機能性ケミカル(選択エッチャント、先端フォトレジスト用シンナー、工程内クリーナーなど)の開発を加速する。
また今回の投資により同社グループは高純度ケミカル分野で質・量の両面から強化するとともに、機能性ケミカル分野ではラインアップ拡充に取り組み、30年には各分野で売上収益を24年度比で2倍にすることを目指す。
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