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荷主産業ガス大手のエア・リキード（フランス）は16日、大手半導体メーカーの増産に対応するため、広島県に工業ガス製造設備を新設すると発表した。投資額は2億ユーロ（320億円）で、次世代AI（人工知能）半導体の生産拡大を支援する。
新設するのは最先端のガス製造ユニット2基で、同社が建設・保有・運営を担う。2028年末までの稼働開始を予定し、半導体製造に不可欠な高純度の窒素、酸素、アルゴンを大量供給する。半導体工程では極めて高い清浄度と安定性が求められるため、超高純度ガスは品質確保の基盤となる。
同社は日本で40年以上にわたり半導体向けガス供給を手がけており、電子分野専用の拠点を78か所展開。つくば市には先端材料センターを設置するほか、19年には東京に研究拠点「イノベーションキャンパス東京」を開設し、次世代半導体向け材料開発を進めている。
半導体製造インフラの一部であるガス供給設備を現地に組み込むことで、輸送依存を抑えつつ安定供給と品質維持を両立させる狙いだ。半導体製造の高度化に伴い、素材・設備サプライヤーの役割は一層重要性を増しており、同社は日本やアジアにおける供給体制の強化を図る。
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