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荷主ハリマ化成グループ（東京都中央区）は18日、半導体レジスト用樹脂の生産能力増強と研究開発体制強化を目的に、兵庫県加古川市の加古川製造所内で新レジスト樹脂工場と新研究棟の建設を決定したと発表した。6月に着工し、2027年6月の完成を予定する。
▲新レジスト樹脂工場（出所：ハリマ化成）
生成AI（人工知能）の普及を背景に半導体需要が拡大するなか、半導体レジスト材料の受注が計画を上回る水準で推移していることを受けた投資となる。新工場「レジスト樹脂工場」の稼働初年度の製造能力は現在の約2倍となる見込みで、将来的な設備増設にも対応可能な設計とした。
新工場の延床面積は750平方メートルで、鉄骨造2階建て。反応釜やクリーンルーム、分析室を備える。高精度自動制御設備や工程内検査機能を導入するほか、原材料貯蔵所を新設し、原料品質の安定化と物流効率化を図るスマートファクトリー化を進める。
併設する「中央研究所3号館」は延床面積1400平方メートルの鉄筋コンクリート造3階建て。超高清浄クリーンルームやレジスト材料開発専用実験室を整備し、次世代半導体向け新素材の研究開発を強化する。研究テーマ探索から材料設計、評価、量産試作までを一体運営し、顧客ニーズへの迅速な対応を目指す。
試験製造は27年7月、量産開始は28年6月を予定する。今後は先端パッケージを含む半導体後工程分野での開発・供給体制を強化するほか、高付加価値領域を中心に半導体材料事業の拡大を進める。
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