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荷主JX金属は28日、半導体用スパッタリングターゲットのリサイクルを拡大するため、JX金属コイルセンターの館林事業所（群馬県館林市）と那須事業所（栃木県那須塩原市）に、新たなリサイクル設備を導入すると発表した。
同社グループは、先端半導体の配線形成に使うスパッタリングターゲットを供給しており、銅やタンタル、チタン、タングステン、コバルトなどを原料としている。半導体市場の拡大に伴って需要が増える中、原料金属の安定確保に向け、原料調達から製造までを一貫して手がける垂直統合型サプライチェーンの構築を進めている。
今回導入する設備では、顧客から回収した使用済みスパッタリングターゲットの切断や洗浄などを行い、再資源化につなげる。これによりリサイクルの対象や処理量を拡大し、限りある金属資源の有効活用と環境負荷の低減を進める。
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